半导体行业FFU
奇昇致力于顶尖半导体科技的洁净室设备研发与生产，为客户提供最合理有效的洁净空气整体解决方案，使我们的客户达到提升制程良率、降低能耗，节约成本的效果。产品和服务覆盖多个微电子行业。
封装/测试行业FFU
面板行业FFU
半导体化学滤网
面板化学滤网
制程设备化学滤网
新风系统MAU化学滤网
新风系统MAU初中高效滤网
高效超高效过滤器更换
制程用EFU
十大品类解决方案
随着集成电路（IC）制造中功能尺寸的不断缩小，AMC的控制要求也越来越严格。自1955年以来，SEMI（国际半导体设备与材料产业协会）一直在研究AMC对微电子制造过程的影响。在SEMI标准 F21-1102中将AMC其分为MA（分子酸类）、MB（分子碱基类）、MC（分子有机凝剂）和MD（植入参杂类）这四类标准，并严格规范了各类AMC的污染浓度分级，其污染浓度单位以摩尔体积表示（ppb或ppt）。
AMC浓度控制
外部环境
无尘室
· 外气空调箱进气口与烟囱 位置考量水洗设备
· 化学滤网安装
· 排气设备与分类
· 烟囱高度及位置规划
· 水系设备效率改善
决定排至外界环境之厂内污染物浓度、种类与方向
•设备机台布置规划
•净房内气流分析
•工程AMC管制与工法改善
•气流模拟避免交叉污染
•区隔维修与生产区域
•AMC紧急应变设施及程序制定
•维修保养工法改善
•气候因素
•气流模拟
•附近空气采样分析
•周边厂房或设施调查
•建筑规划
决定进入洁净室空气质量
在无尘室的内外都存在AMC污染源，在实际控制方案中需要了解AMC的来源和特性，进行最合理的方案设计。外部空气（OA）中的AMC在进入洁净室前会经过MAU进行预处理，在MAU中配备智能水洗装置（90%）和化学过滤器（90%）两级过滤装置，以MAC浓度50ppv的外气为例，控制进入FAB的AMC浓度在符合规范的1ppb以下。
N：C/R内污染物浓度[μg/m3]
M：MAU供风污染物浓度[μg/m3]
K：C/R空气循环次数[次/hr]
V：C/R室内体积[m3]
G：C/R内污染物产生率[μg/hr]
a：滤网过滤效率
s：MAU供风占FFU循环风比例
对于AMC浓度要求严苛的FAB，可在FFU设备端以及EFU制程设备端配备化学过滤器，可进一步控制AMC的浓度。
IAE-800
IAE-1000
IAE-900
IAE-μGC
酸碱(MA+MB)
酸碱+VOCs
(MA+MB+MC)
VOCs(MC)
VOCs(MC)
奇昇TCO优选服务
在洁净室的日常运转和维护中，FFU风机、MAU水洗设备效率、滤料材质和工艺的不同使用组合对压损、能耗和寿命也会产生差异，对客户的总拥有成本会产生显著影响。
1.若风机全压越高，则过滤器可以达到其最终的使用寿命！（针对12寸半导体28纳米制程与TSMC/UMC同等制程，可选用此方案）；
2. PTFE过滤器：0.45m/s时80Pa，效率为99.9995%（U15）；
3.若同一区域需要三种化学过滤器，则需315Pa高静压电机同时满足化滤压损。（酸25Pa+碱25Pa+VOC25Pa）
4.数据符合DIN24 166技术公差±5%。
5.230Pa@0.45m/s 整机效率57% ，275Pa@0.45m/s整机效率58%，320Pa@0.45m/s整机效率整机效率59%
奇昇为客户提供TCO（Total Cost Ownership）优选服务，利用局部优化、综合采购的理念以及精准的数据采集来分析设备成本、运转成本和执行成本，为客户提供最优的选型方案。
优选方案：
1. 依据客户基础数据进行选型，由风机整机效率及滤网压损形成初步方案（本案例形成35种初步方案）。
2. 根据初购成本+10年运行成本通过AMCA机台测测试数据计算十年总成本。
3. 根据测试数据选定最经济方案。本案例方案29为最经济方案，可节约成本22%。
奇昇在微电子洁净室产品上拥有强大的产品力，可满足实际案例中的复杂需求，配合TCO优选服务理念，用科学准确的方法和数据分析来提高产品的生命周期、减少运行成本和执行费用、降低客户的综合拥有成本，在保证洁净效果的情况下，实现客户利益最优化。
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