通过在线监测系统实时监测MAU出风口、FFU入风口、制程区以及设备逸散处等区域的AMC浓度，并通过下列计算公式计算出cleanroom的AMC污染浓度，以此为依据选择最合适的设备来去除AMC。
N : C/R内污染物浓度 [μg/m3]
M : MAU供风污染物浓度 [μg/m3]
K : C/R空气循环次数 [次/hr]
V : C/R室内体积 [m3]
G : C/R内污染物产生率 [μg/hr]
a : 滤网过滤效率
s : MAU供风占FFU循环风比例
① 初效过滤器
② 袋式过滤器
③ 智能水洗设备
④ 化学过滤器
⑤ V型过滤器
⑥ FFU
⑦ 高效/超高效过滤器
⑧ HEPA BOX
⑨ EFU
⑩ TCU
⑪ TAU
⑫ AMC在线监测
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